安徽譜純氣體(圖)-特種氣體廠家-合肥特種氣體：

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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），特種氣體供應(yīng)商，100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），特種氣體價格，發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，合肥特種氣體，又屬于外延氣體，工業(yè)特種氣體廠家，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求

特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動軌道焊機(jī)焊接，高純氬氣保護(hù)。安裝和試驗檢測用計量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項施工方案，并經(jīng)過業(yè)主審批后實施。主要設(shè)備材料進(jìn)場應(yīng)提供必要資料：產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測試報告；產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗要求等技術(shù)文件；產(chǎn)品規(guī)格、型號、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

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